新闻详情

干式真空泵维修及应用

干式真空泵维修及应用
      干式机械真空泵(干式真空泵维修)的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
      1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
      2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
      3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
      4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,(干式真空泵维修)要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
      5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

尊敬的客户:

  本公司还有Alcatel真空泵维修、kashiyama真空泵维修、真空PUMP维修产品,您可以通过网页拨打本公司的服务热线了解更多产品的详细信息,至善至美的服务是我们的追求,欢迎新老客户放心选购自己心仪产品,我们将竭诚为您服务!

粤公网安备 44190002002219号